適用範圍:二甲醚、氯乙烯、三氯氫矽、多晶矽等行業。

 

工藝流程:以三氯氫矽尾氣為例,根據原料氣中含有H2、N2、SiH2Cl2和SiHCl3等分離組分,然後用變壓吸附分離提純SiH2Cl2和SiHCl3組分,由於這些組分的分子大,吸附劑對這些組分的解吸相對較弱。所以改進後的工藝一般是在選擇容易解吸的吸附劑的同時還需采用衝洗和抽真空流程,不但可去掉N2雜質和回收SiH2Cl2和SiHCl3高附加值的產品,而且還能大大提高產品氫氣品質。

 

吸附塔:采用GB和TSG標準,所有設備設計壽命大於15年。

 

吸附劑:采用動態吸附量大、解吸容易、耐磨強度和抗壓強度較高,對所有待分離的氣體介質具有化學惰性的吸附劑。



2018年06月28日

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【摘要】:適用範圍: 二甲醚、氯乙烯、三氯氫矽、多晶矽等行業。